檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "洪儒生".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="戴龑"
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本論文利用射頻電漿濺鍍沉積氧化銦錫(ITO)與氧化鋅鋁(AZO)薄膜於自組裝單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM)修飾後的玻璃基板，一般而言，低溫製程環境下所沉積…
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中文摘要 本論文利用電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) 沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的玻璃基板，並使用AFM、SEM觀察矽薄膜的表面形態受到不同形式（長鏈、短鏈、環狀）自…
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本研究利用X光光電子能譜 (X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS)，分析經改質處理後之薄膜材料及元件化學結構及界面現象。 探討之元件及材料處理程序包括…
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本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分，其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber)，可快速傳送樣品進入其他腔體；其二為製程腔體，包含電子蒸鍍槍(Elect…